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发布时间:2021-11-05 23:15:00 作者:安徽新塑
电子洁净厂房工艺给水主要有工艺冷却水及纯水。工艺冷却水主要应用于各种工艺设备的冷却。由于工艺设备内的冷却管道有很多为管径很细的毛细管道,为避免毛细管道的结垢,对工艺冷却水的水质也提出了相应的要求。
管材性能比较,选择管材的依据主要是管道的溶出物(见表1)及内表面光洁度。主要应用的管道有Clean-PVC管、洁净PP管、PVDF管几种。Clean-PVC管采用耐冲击硬质聚制造,其比普通PVC管含有较少的添加剂。从而减小了管道内壁的粗糙度(Clean-PVC管的表面粗糙度小于0.37 μm,而普通PVC管的表面粗糙度在1.0 μm)以及污染物的析出。
Clean-PVC及洁净PP已不能满足其要求,而PVDF管道的溶出物及管道内壁光洁度都远强于Clean-PVC及洁净PP,故而只能选择PVDF管道。在国内的半导体生产中也有8英寸采用Clean-PVC管道的成功案例,但经过实测分析后发现,这类生产厂的产品都是从6英寸升级至8英寸的,也就是在6英寸纯水管道系统运行若干年后升级为8英寸的,而Clean-PVC管路系统经过长时间运行后,其溶出的离子呈逐步减少的趋势。
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